El grabado químico asistido por metal (MACE) es un método de grabado húmedo anisotrópico recientemente desarrollado que es capaz de producir nanoestructuras semiconductoras de alta relación de aspecto a partir de una película de metal con dibujos.
En un modelo bien aceptado que describe el proceso MACE, se prefiere que el oxidante se reduzca en la superficie del catalizador metálico , y los agujeros (h +) se inyectan desde el catalizador metálico a Si o los electrones (e-) se transfieren desde el catalizador Si al metal. Si el catalizador metálico debajo de la base tiene la máxima concentración de orificios , por lo tanto, la oxidación y la disolución del Si ocurren preferentemente debajo del catalizador metálico.
Se encuentra que la eficiencia de conversión de energía solar se incrementa cuando los SiNW con una alta relación de aspecto se emplean en la superficie de irradiación de luz slar.
1 Condición de la superficie
Parámetro | Proceso | Reflectancia |
Lado delantero | ||
Condición de la superficie | Grabado químico con metal asistido | Bajo |
Reverso | ||
Condición de la superficie | Pulido o texturizado | Alto o bajo |
2 Propiedades materiales
Propiedad | Especificación | Método de inspección |
Método de crecimiento | solidificación direccional | XRD |
Cristalinidad | policristalino | Técnicas de grabado preferenciales ( ASTM F47-88 |
Tipo de conductividad | Tipo p | Napson EC-80TPN P / N |
Dopante | Boro | - |
Concentración de oxígeno [Oi] | ≦ 1E + 17 a / cm 3 | FTIR (ASTM F121-83) |
Concentración de carbono [Cs] | ≦ 1E + 18 a / cm 3 | FTIR (ASTM F123-91) |
3 Propiedades electricas
Propiedad | Especificación | Método de inspección |
Resistividad | 0.5-2 Ωcm (Después de recocido) | Sistema de inspección de obleas |
MCLT (vida de portador minoritario) | ≧ 2 μs | Sinton QSSPC |
4 Geometría
Propiedad | Especificación | Método de inspección |
Geometría | Cuadrado o rectángulo | Sistema de inspección de obleas |
Forma de borde biselado | Línea | Sistema de inspección de obleas |
Tamaño de la oblea (Longitud lateral * Longitud lateral) | 156mm * 156mm 157mm * 186mm 166mm * 166mm | Sistema de inspección de obleas |
Ángulo entre lados adyacentes | 90 ± 3 ° | Sistema de inspección de obleas |