【Introducción del producto】
Parámetro | Característica | Método de control ASTM |
Tipo / Dopante | P, boro N, fósforo N, antimonio N, arsénico | F42 |
Orientaciones | <100>, <111> corte las orientaciones según las especificaciones del cliente | F26 |
Contenido de oxígeno | 10 19 ppmA Tolerancias personalizadas por especificación del cliente | F121 |
Contenido de carbon | <0.6> | F123 |
Rangos de resistividad: P, boro, N, fósforo, N, antimonio, N, arsénico | 0.001 - 50 ohm · cm | F84 |
Parámetro | principal | Monitor / Prueba A | Prueba | Método ASTM |
Diámetro | 125 ± 0.2 mm | 125 ± 0.2 mm | 125 ± 0.5 mm | F613 |
Espesor | 625 ± 20 µm (estándar) | 625 ± 25 µm (estándar) 500 ± 25 µm 1000 ± 25 µm | 625 ± 50 µm (estándar) | F533 |
TTV | <5> | <10> | <15> | F657 |
Arco | <30> | <30> | <50> | F657 |
Envolver | <30> | <30> | <50> | F657 |
Redondeo de bordes | SEMI-ETS | F928 | ||
Calificación | Pisos SEMI-STD, solo SEMI-Flat primario, Jeida Flat, Notch | F26, F671 | ||
Parámetro | principal | Monitor / Prueba A | Prueba | Método ASTM |
Criterios Delanteros | ||||
Condición de la superficie | Químico Mecánico Pulido | Químico Mecánico Pulido | Químico Mecánico Pulido | F523 |
Rugosidad de la superficie | <2 a=""> | <2 a=""> | <2 a=""> | |
Contaminación, Partículas @> 0.3 µm | = 20 | = 20 | = 30 | F523 |
Haze, Hoyos, Cáscara De Naranja | Ninguna | Ninguna | Ninguna | F523 |
Marcas de sierra, estriaciones. | Ninguna | Ninguna | Ninguna | F523 |
Criterios del Lado Trasero | ||||
Grietas, pieles, marcas de sierra, manchas. | Ninguna | Ninguna | Ninguna | F523 |
Condición de la superficie | Grabado cáustico | F523 | ||
【 Descripción del producto 】
Perfecto para aplicaciones de microfluidos. Para aplicaciones de microelectrónica o MEMS, contáctenos para obtener especificaciones detalladas.
Amplio stock de obleas de doble cara pulidas en todos los diámetros de obleas que van desde 100 mm a 300 mm. Si su especificación no está disponible en nuestro inventario, hemos establecido relaciones a largo plazo con numerosos proveedores que son capaces de fabricar obleas personalizadas para adaptarse a cualquier especificación única. Las obleas pulidas a doble cara están disponibles en silicona, vidrio y otros materiales comúnmente utilizados en la industria de los semiconductores.
Los dados y pulidos personalizados también están disponibles de acuerdo con sus requisitos. Siéntete libre de contactarnos.
Features características del producto 】
· Tipo P / N de 5 ", oblea de silicio pulida (25 piezas)
· Orientación: 125
· Resistividad: 0,1 - 40 ohm · cm (puede variar de un lote a otro)
· Espesor: 625 +/- 20um
· Prime / Monitor / Test Grade
