Oblea de 4 pulgadas (100 mm)

La línea de productos de Microelectronics incluye sustratos de oblea tanto de un solo lado pulido (SSP) como de doble lado (DSP). ● Tipo P de 4 ", oblea de silicona pulida (25 unidades) ● Orientación: 100 ● Resistividad: 0,1 - 40 Ohm • cm (Puede variar de un lote a otro) ● Espesor: 525 +/- 20um ● Cebado / Monitor / Grado de prueba
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Detalles

【Introducción del producto】

Oblea pulida de 4 pulgadas (100 mm) DSC01065 730


Oblea pulida de 4 pulgadas (100 mm) DSC01070 730


PROPIEDADES MATERIALES

Parámetro

Característica

Método de control ASTM

Tipo / Dopante

P, boro N, fósforo N, antimonio N, arsénico

F42

Orientaciones

<100>, <111> corte las orientaciones según las especificaciones del cliente

F26

Contenido de oxígeno

10 18 ppmA Tolerancias personalizadas por especificación del cliente

F121

Contenido de carbon

<0.5 ppma="" tolerancias="" personalizadas="" por="" especificación="" del="">

F123

Rangos de resistividad: P, Boron, N, Fósforo, N, Antimonio, Arsénico

0.001 - 50 ohm · cm
0,1 - 40 ohm · cm
0.005 - 0.025 ohm · cm
<0.005 ohm="">

F84

 

PROPIEDADES MECÁNICAS

Parámetro

principal

Monitor / Prueba A

Prueba

Método ASTM

Diámetro

100 ± 0.2 mm

100 ± 0.2 mm

100 ± 0.5 mm

F613

Espesor

525 ± 20 µm (estándar)

525 ± 25 µm (estándar) 381 ± 25 µm 625 ± 25 µm 700 ± 25 µm 800 ± 25 µm 1000 ± 25 µm 1500 ± 25 µm

525 ± 50 µm (estándar)

F533

TTV

<5>

<10>

<15>

F657

Arco

<30>

<30>

<40>

F657

Envolver

<30>

<30>

<40>

F657

Redondeo de bordes

SEMI-ETS

F928

Calificación

Pisos SEMI-STD, solo SEMI-Flat primario

F26, F671

  

CALIDAD DE LA SUPERFICIE

Parámetro

principal

Monitor / Prueba A

Prueba

Método ASTM

Criterios Delanteros

Condición de la superficie

Químico Mecánico Pulido

Químico Mecánico Pulido

Químico Mecánico Pulido

F523

Rugosidad de la superficie

<2 a="">

<2 a="">

<2 a="">


Contaminación, Partículas @> 0.3 µm

= 20

= 20

= 30

F523

Neblina, Hoyos, Cáscara De Naranja

Ninguna

Ninguna

Ninguna

F523

Marcas de sierra, estriaciones.

Ninguna

Ninguna

Ninguna

F523

Criterios del Lado Trasero

Grietas, pieles, marcas de sierra, manchas.

Ninguna

Ninguna

Ninguna

F523

Condición de la superficie

Grabado cáustico

F523

  

Descripción del producto

La línea de productos de Microelectronics incluye sustratos de oblea tanto de un solo lado pulido (SSP) como de doble lado (DSP). Por lo general, se requieren obleas pulidas por los lados dobles en semiconductores, MEMS y otras aplicaciones donde se requieren obleas con características de planicidad fuertemente controladas.

 

También ofrecemos obleas rectangulares y cuadradas. El alcance básicamente realizable de las longitudes de los bordes de las obleas de silicona es de 5 x 5 mm2 ... 100 x 120 mm2, etc.

 

Los dados y pulidos personalizados también están disponibles de acuerdo con sus requisitos. Siéntete libre de contactarnos.

 

Features características del producto

·          Tipo P / N de 4 ", oblea de silicio pulida (25 piezas)

·          Orientación: 100

·          Resistividad: 0,1 - 40 Ohm · cm (puede variar de un lote a otro)

·          Espesor: 525 +/- 20um

·          Prime / Monitor / Test Grade


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Consulta

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